Aktiv Normen | Herausgegeben: 01.04.2022

ISO/TS 22933:2022

Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for the measurement of mass resolution in SIMS
(Analyse chimique des surfaces — Spectrométrie de masse des ions secondaires — Méthode pour le mesurage de la résolution en masse dans la SIMS)

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Detailinformationen

Bezeichnung: ISO/TS 22933:2022

Ausgabedatum: 01.04.2022

Seiten: 15

Land: Internationale technische Norm

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Annotation

Description / Abstract: This document specifies a method for measuring the mass resolution in SIMS, and how to compare the mass resolution between different instruments (e.g. TOF-SIMS, Magnetic SIMS, Quadrupole SIMS, Fourier Transform SIMS, etc.) by considering the peak shapes.

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