Active standard | Published: 15/10/2022

ÖNORM EN ISO 14644-10

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO 14644-10:2022)

Available languages: English, German

Available design: electronic design (pdf), Print design

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Detail information

Designation: ÖNORM EN ISO 14644-10

Publication date: 15/10/2022

Pages: 40

Country: Austrian technische Norm

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Anotation

Dieses Dokument legt geeignete Prüfverfahren zur Bestimmung der Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieses Dokument ist auf alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen anwendbar, wie z.B. Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsflächen, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte.

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