Aktívna norma | Vydaná: 15.10.2022

ÖNORM EN ISO 14644-10

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO 14644-10:2022)

Dostupné jazyky: Anglicky, Nemecky

Dostupné prevedenie: Elektronické PDF, Tlačené

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Podrobné informácie

Označenie: ÖNORM EN ISO 14644-10

Dátum vydania: 15.10.2022

Stránok: 40

Krajina: Rakúska technická norma

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Anotácia

Dieses Dokument legt geeignete Prüfverfahren zur Bestimmung der Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieses Dokument ist auf alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen anwendbar, wie z.B. Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsflächen, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte.

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