Aktivní norma | Vydána: 15.10.2022

ÖNORM EN ISO 14644-10

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 10: Bewertung der chemischen Oberflächenreinheit (ISO 14644-10:2022)

Dostupné jazyky: Anglicky, Německy

Dostupné provedení: Elektronické PDF, Tištěné

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Podrobné informace

Označení: ÖNORM EN ISO 14644-10

Datum vydání: 15.10.2022

Stran: 40

Země: Rakouská technická norma

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Anotace

Dieses Dokument legt geeignete Prüfverfahren zur Bestimmung der Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieses Dokument ist auf alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen anwendbar, wie z.B. Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsflächen, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte.

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