Aktívna norma | Vydaná: 24.07.2003

ISO 20341:2003

Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
(Analyse chimique des surfaces — Spectrométrie de masse des ions secondaires — Méthode d´estimation des parametres de résolution en profondeur a l´aide de matériaux de référence multicouches minces)

Dostupné jazyky: Anglicky

Dostupné prevedenie: Elektronické PDF, Tlačené

od 56.70 EUR zobraziť na eshopu

Podrobné informácie

Označenie: ISO 20341:2003

Dátum vydania: 24.07.2003

Stránok: 5

Krajina: Medzinárodná technická norma

Kde kúpiť?

Môžete zakúpiť na eshop.normservis.sk

Anotácia

Description / Abstract: ISO 20341:2003 specifies procedures for estimating three depth resolution parameters, viz the leading-edge decay length, the trailing-edge decay length and the Gaussian broadening, in SIMS depth profiling using multiple delta-layer reference materials. It is not applicable to delta-layers where the chemical and physical state of the near-surface region, modified by the incident primary ions, is not in the steady state.

Populárna vydavatelia

celý katalóg