Aktivní norma | Vydána: 24.07.2003

ISO 20341:2003

Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
(Analyse chimique des surfaces — Spectrométrie de masse des ions secondaires — Méthode d´estimation des parametres de résolution en profondeur a l´aide de matériaux de référence multicouches minces)

Dostupné jazyky: Anglicky

Dostupné provedení: Elektronické PDF, Tištěné

od 1 371.40 CZK zobrazit na eshopu

Podrobné informace

Označení: ISO 20341:2003

Datum vydání: 24.07.2003

Stran: 5

Země: Mezinárodní technická norma

Kde koupit?

Můžete zakoupit na eshop.normservis.cz

Anotace

Description / Abstract: ISO 20341:2003 specifies procedures for estimating three depth resolution parameters, viz the leading-edge decay length, the trailing-edge decay length and the Gaussian broadening, in SIMS depth profiling using multiple delta-layer reference materials. It is not applicable to delta-layers where the chemical and physical state of the near-surface region, modified by the incident primary ions, is not in the steady state.

Populární vydavatelé

celý katalog