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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 20: Gyroscopes
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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials
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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 22: Electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates
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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area
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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures
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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 28: Performance testing method of vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices
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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions
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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 15: Test method of bonding strength between PDMS and glass
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Semiconductor devices - Semiconductor interface for human body communication - Part 1: General requirements
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