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ČSN - Tschechische nationale Normen
Seite 3358
ČSN EN 62047-10 (01.03.2012)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials
Verfügbare Sprachen: Englisch (nur die Titelseite ist in der tschechischen Sprache)
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ab 14.00 EUR weitere informationen
ČSN EN 62047-10:2012/Oprava1 (01.07.2012) Correction
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
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ČSN EN 62047-11 (01.04.2014)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
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ab 14.50 EUR weitere informationen
ČSN EN 62047-12 (01.04.2012)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
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ab 17.90 EUR weitere informationen
ČSN EN 62047-13 (01.10.2012)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures
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ab 14.00 EUR weitere informationen
ČSN EN 62047-14 (01.10.2012)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials
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ČSN EN 62047-16 (01.09.2015)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods
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ab 9.20 EUR weitere informationen
ČSN EN 62047-17 (01.09.2015)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
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ab 14.50 EUR weitere informationen
ČSN EN 62047-18 (01.04.2014)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 18: Bend testing methods of thin film materials
Verfügbare Sprachen: Englisch (nur die Titelseite ist in der tschechischen Sprache)
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ČSN EN 62047-19 (01.04.2014)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 19: Electronic compasses
Verfügbare Sprachen: Englisch (nur die Titelseite ist in der tschechischen Sprache)
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