Ungültige | Herausgegeben: 15.10.2011

ASTM E2444-11e1 Ungültige

Terminology Relating to Measurements Taken on Thin, Reflecting Films (Includes all amendments And changes 5/28/2018).

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Detailinformationen

Bezeichnung: ASTM E2444-11e1

Ausgabedatum: 15.10.2011

Seiten: 2

Anmerkung: Ungültige

Land: Amerikanische technische Norm

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Erhältlich auf www.technormen.de

Annotation

Keywords:
cantilevers, definitions, fixed-fixed beams, interferometry, length measurements, microelectromechanical systems, MEMS, polysilicon, residual strain, stiction, strain gradient, terminology, test structure, ICS Number Code 01.040.31 (Electronics (Vocabularies)), 31.240 (Mechanical structures for electronic equipment)

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