Ungültige | Herausgegeben: 01.01.1994

ASTM F1228-89(1994)E01 Ungültige

Test Method for Oxidizable (Organic) Carbon on Wafer Surfaces (By Persulfate) (Withdrawn 2001)

Verfügbare Sprachen: Englisch

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Detailinformationen

Bezeichnung: ASTM F1228-89(1994)E01

Ausgabedatum: 01.01.1994

Seiten: 4

Anmerkung: Ungültige

Land: Amerikanische technische Norm

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Annotation

Keywords:
Carbon content-semiconductors, Contamination-semiconductors, Electrical conductors-semiconductors, Microelectronics industry, Organic carbon (OC), Oxidizable carbon, Persulfate oxidation, Semiconductor device testing, Silicon semiconductors, Silicon semiconductors-slices/wafers, wafer surfaces-mass of deposited organic (oxidizable) carbon, contaminants, by persulfate oxidant solution, test

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