Potřebujeme Váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se Vám mimo jiné mohli ukazovat informace týkající se Vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
Atomic layer deposition. Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors.
Verfügbare Sprachen: Englisch
Verfügbare Ausführung: Elektronische PDF, Gedruckt
Bezeichnung: BS ISO 19383:2026
Ausgabedatum: 03.06.2026
Seiten: 22
Land: Britische technische Norm