Aktiv Normen | Herausgegeben: 23.09.2013

ISO 13424:2013

Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Reporting of results of thin-film analysis
(Analyse chimique des surfaces — Spectroscopie de photoélectrons X — Rapport des résultats de l´analyse de films minces)

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Detailinformationen

Bezeichnung: ISO 13424:2013

Ausgabedatum: 23.09.2013

Seiten: 46

Land: Internationale technische Norm

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Annotation

Description / Abstract: ISO 13424:2013 specifies the minimum amount of information required in reports of analyses of thin films on a substrate by XPS. These analyses involve measurement of the chemical composition and thickness of homogeneous thin films, and measurement of the chemical composition as a function of depth of inhomogeneous thin films by angle-resolved XPS, XPS sputter-depth profiling, peak-shape analysis, and variable photon energy XPS.

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