Aktiv Normen | Herausgegeben: 18.07.2016

ISO 16700:2016-ed.2.0

Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification
(Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique a balayage — Lignes directrices pour l´étalonnage du grandissement d´image)

Verfügbare Sprachen: Englisch

Verfügbare Ausführung: Elektronische PDF, Gedruckt

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Detailinformationen

Bezeichnung: ISO 16700:2016-ed.2.0

Ausgabedatum: 18.07.2016

Seiten: 18

Land: Internationale technische Norm

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Annotation

Description / Abstract: ISO 16700:2016 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. It does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.

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