ISO 23170:2022 img
Active standard | Published: 15/06/2022

ISO 23170:2022

Surface chemical analysis — Depth profiling — Non-destructive depth profiling of nanoscale heavy metal oxide thin films on Si substrates with medium energy ion scattering
(Analyse chimique des surfaces — Profilage d´épaisseur — Profilage d´épaisseur non destructif de films minces d´oxydes de métaux lourds a l´échelle nanométrique sur des substrats de Si par diffusion d´ions de moyenne énergie)

Available languages: English

Available design: electronic design (pdf), Print design

from 235.00 USD show on eshop

Detail information

Designation: ISO 23170:2022

Publication date: 15/06/2022

Pages: 29

Country: International technical standard

Where to buy?

You can buy at www.mystandards.biz

Anotation

Description / Abstract: This document specifies a method for the quantitative depth profiling of amorphous heavy metal oxide ultrathin films on Si substrates using medium energy ion scattering (MEIS).
Loading
Cookies Cookies

Potřebujeme Váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se Vám mimo jiné mohli ukazovat informace týkající se Vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.

Souhlas můžete odmítnout zde.

Zde máte možnost přizpůsobit si nastavení souborů cookies v souladu s vlastními preferencemi.

Potřebujeme Váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se Vám mimo jiné mohli ukazovat informace týkající se Vašich zájmů.