Cookies
Potřebujeme Váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se Vám mimo jiné mohli ukazovat informace týkající se Vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
Aktívna norma | Vydaná: 18.06.2019
ISO 21859:2019
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment
(Céramiques techniques — Méthode d’essai pour déterminer la résistance au plasma des composants céramiques dans les équipements de production a semi-conducteurs)
Dostupné jazyky: Anglicky
Dostupné prevedenie: Elektronické PDF, Tlačené
od 65.10 USD
zobraziť na eshopu
Podrobné informácie
Označenie: ISO 21859:2019
Dátum vydania: 18.06.2019
Stránok: 4
Krajina: Medzinárodná technická norma
Kde kúpiť?
Môžete zakúpiť na eshop.normservis.skAnotácia
Description / Abstract: This document specifies a test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment. It is applicable to ceramic components of plasma-resistant components in dry etching chambers used in semiconductor manufacturing.Populárna vydavatelia
DIN normy
BS normy
ASTM normy
ISO normy
IEC normy
Copyright © All rights reserved | This template is made with by Colorlib
