Potřebujeme Váš souhlas k využití jednotlivých dat, aby se Vám mimo jiné mohli ukazovat informace týkající se Vašich zájmů. Souhlas udělíte kliknutím na tlačítko „OK“.
Atomic layer deposition — Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
(Dépôt de couches atomiques — Caractéristiques chimiques et spécifications de processus associées des précurseurs pour le dépôt de couches atomiques)
Dostupné jazyky: Anglicky
Dostupné provedení: Elektronické PDF, Tištěné
Označení: ISO 19383:2026
Datum vydání: 01.06.2026
Stran: 13
Země: Mezinárodní technická norma