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BS - Britische nationale Normen
Seite 4017
BS IEC 62047-40:2021 (14.09.2021)
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test methods of micro-electromechanical inertial shock switch threshold.
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BS IEC 62047-41:2021 (28.06.2021)
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. RF MEMS circulators and isolators.
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BS IEC 62047-42:2022 (24.10.2022)
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever.
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BS IEC 62047-43:2024 (22.03.2024)
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method of electrical characteristics after cyclic bending deformation for flexible micro-electromechanical devices.
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BS IEC 62047-44:2024 (29.02.2024)
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test methods for dynamic performances of MEMS resonant electric-field-sensitive devices.
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BS IEC 62047-45:2025 (01.04.2025)
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of impact resistance of nanostructures.
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BS IEC 62047-46:2025 (30.04.2025)
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of tensile strength of nanoscale thickness membrane.
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BS IEC 62047-47:2024 (28.08.2024)
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of bending strength of microstructures.
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BS IEC 62047-48:2024 (11.06.2024)
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for determining solution concentration by optical absorption using MEMS fluidic device.
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BS IEC 62047-49:2025 (03.12.2025)
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Temperature and humidity test methods for piezoelectric MEMS cantilevers.
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