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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials
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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing
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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS
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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches
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Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 5: Spínače RF MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials (IEC 62047-6:2009)
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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 7: MEMS BAW filter and duplexer for radio frequency control and selection
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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films
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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 9: Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS
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Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 9: Měření pevnosti spojení dvou destiček pro MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
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